總投資359億元，積塔半導體特色工藝生產線在滬正式投片

來源：上觀2020.3.31

摘要：進一步完善上海集成電路產業高地布局。

上海集成電路產業迎來重要時刻——3月30日，位于臨港新片區的積塔半導體特色工藝生產線正式投片。

上海積塔半導體有限公司于2017年11月注冊成立，2018年10月吸收香港上市公司上海先進半導體制造股份有限公司，成為中國領先的汽車級電驅IGBT（絕緣柵雙極型晶體管）生產廠。目前股東方為華大半導體有限公司和上海集成電路產業投資基金股份有限公司。

位于臨港的積塔特色工藝生產線項目，2018年1月正式立項，總投資359億元，占地面積23萬平方米。2018年4月，該項目被認定為上海市重大產業項目，2018年8月正式開工，2019年5月項目主體結構封頂，2019年12月設備搬入。今年初疫情突發，正處于設備密集搬入和組裝期的積塔半導體新線項目面臨嚴峻挑戰。上海積塔半導體對既定目標絲毫未放松，一手抓防控、一手抓建廠，堅定按照預定節點成功通線投片，為積塔半導體新線實現年內量產奠定了堅實基礎。

按照計劃，項目一期規劃建設月產能6萬片8英寸晶圓的0.11μm/0.13μm/0.18μm（微米）工藝生產線，月產能3000片12英寸特色工藝晶圓的55nm/65nm（納米）工藝先導生產線，以及月產能5000片6英寸晶圓的SiC（碳化硅）化合物半導體生產線，并將在今年實現全面量產。二期工程規劃擴建12英寸特色工藝生產線至月產能50000片。

作為上海市重大產業項目，積塔特色工藝生產線建設項目專注于模擬電路及功率器件的制造，支撐工控、汽車、電力、能源等產業發展，全面達產后將成為國內領先的汽車級特色工藝半導體生產線，可進一步完善上海集成電路產業高地布局。

總投資359億元，積塔半導體特色工藝生產線在滬正式投片

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